国家标准计划《微机电系统（MEMS）技术 MEMS材料微柱压缩试验方法》由 TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 中国科学院微电子研究所 、中机生产力促进中心有限公司等 。

本标准等同采用IEC国际标准：IEC 62047-10:2011。

采标中文名称:半导体器件 微机电器件 第10部分：MEMS材料微柱压缩试验方法。